A nest arrangement which is configured to support a substrate during a
dicing process, and methods for using such a nest arrangement, are
disclosed. According to one aspect of the present invention, a nest
arrangement supports a substrate, which includes a first side and a second
side, the first side being smoother than the second side. This nest
arrangement includes a nest having a first side and a second side disposed
above a vacuum retainer plate. The nest includes a locator pin for
aligning the substrate with the nest when said substrate is disposed on
the first side of the nest, and has a grid which defines at least one nest
opening with an opening area that is smaller than an area of a chip diced
from the substrate, and at least one retainer wall disposed on the first
side proximate the opening area. The vacuum retainer plate has thereon at
least one vacuum pedestal, which is configured to be disposed through the
nest opening when the nest is mated with the vacuum retainer plate. The
vacuum pedestal protrudes above the first side of the nest when the vacuum
pedestal is disposed through the nest opening to lift the substrate off
the first side of the nest when the nest is mated with the vacuum retainer
plate.
Una disposizione del nido che è configurata per sostenere un substrato durante il processo tagliante ed i metodi per usando una tal disposizione del nido, è rilevata. Secondo una funzione di presente invenzione, una disposizione del nido sostiene un substrato, che include un primo lato e un secondo lato, il primo lato che è più regolare del secondo lato. Questa disposizione del nido include un nido che ha un primo lato e un secondo lato disposti di sopra una piastra del fermo di vuoto. Il nido include un perno di indicatore di posizione per l'allineamento del substrato con il nido quando il substrato detto è disposto di dal primo lato del nido ed ha una griglia che definisce almeno un'apertura del nido con uno spazio all'aperto che è più piccolo di una zona di un circuito integrato tagliato dal substrato ed almeno una parete del fermo disposta di dal primo lato prossimo lo spazio all'aperto. La piastra del fermo di vuoto ha su ciò almeno un basamento di vuoto, che è configurato per essere disposto di con l'apertura del nido quando il nido è corrisposto con la piastra del fermo di vuoto. Il basamento di vuoto sporge sopra il primo lato del nido quando il basamento di vuoto è disposto di con l'apertura del nido per staccare il substrato dal primo lato del nido quando il nido è corrisposto con la piastra del fermo di vuoto.