A method including to a resonator coupled to at least one support structure
on a substrate, the resonator having a resonating frequency in response to
a frequency stimulus, modifying the resonating frequency by modifying the
at least one support structure. A method including forming a resonator
coupled to at least one support structure on a chip-level substrate, the
resonator having a resonating frequency; and modifying the resonating
frequency of the resonator by modifying the at least one support
structure. A method including applying a frequency stimulus to a resonator
coupled to at least one support structure on a chip-level substrate
determining a resonating frequency; and modifying the resonating frequency
of the resonator by modifying the at least one support structure. An
apparatus including a resonator coupled to at least one support structure
on a chip-level substrate, the resonator having a resonating frequency
tuned by the modification of the at least one support structure to a
selected frequency stimulus.
Een methode die aan een resonator omvat die aan minstens één steunstructuur op een substraat, de resonator die een resonerende frequentie in antwoord op een frequentiestimulus heeft, die de resonerende frequentie wijzigt door de minstens één steunstructuur te wijzigen wordt gekoppeld. Een methode met inbegrip van het vormen van een resonator die aan minstens één steunstructuur wordt gekoppeld op een spaander-vlak substraat, de resonator die een resonerende frequentie heeft; en wijzigt de resonerende frequentie van de resonator door de minstens één steunstructuur te wijzigen. Een methode met inbegrip van het toepassen van een frequentiestimulus op een resonator die aan minstens één steunstructuur wordt gekoppeld op een spaander-vlak substraat dat een resonerende frequentie bepaalt; en wijzigt de resonerende frequentie van de resonator door de minstens één steunstructuur te wijzigen. Een apparaat met inbegrip van een resonator die aan minstens één steunstructuur wordt gekoppeld op een spaander-vlak substraat, de resonator die een resonerende frequentie heeft die door de wijziging van de minstens één steunstructuur aan een geselecteerde frequentiestimulus wordt gestemd.