An improved device for measuring pressures, comprising a silicon membrane or diaphragm which is exposed, on its two faces, to two pressures whose difference is to be measured. A resonant element is provided on one face of the diaphragm, which is treated by selective chemical etching, and is mechanically coupled to the diaphragm so that its resonance frequency varies as a consequence of the deformation undergone by the diaphragm.

Eine verbesserte Vorrichtung für das Messen des Drucks, eine Silikonmembrane oder eine Membrane enthalten, die, auf seinen zwei Gesichtern, zwei Druck ausgesetzt wird, dessen Unterschied gemessen werden soll. Ein Resonanzelement wird auf einem Gesicht der Membrane zur Verfügung gestellt, die mit vorgewählter chemischer Radierung behandelt wird, und wird mechanisch zur Membrane verbunden, damit seine Resonanzfrequenz als Folge der Deformation schwankt, die durch die Membrane durchgemacht wird.

 
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< Combined in-situ high density plasma enhanced chemical vapor deposition (HDPCVD) and chemical mechanical polishing (CMP) process to form an intermetal dielectric layer with a stopper layer embedded therein

> Method for changing the qualitative and quantitative composition of a mixture of liquid hydrocarbons based on the effects of cavitation

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