Methods of forming a film on a substrate using chemical vapor deposition techniques and pyrazolyl complexes. The complexes and methods are particularly suitable for the preparation of semiconductor structures.

Methodes om een film op een substraat te vormen dat de technieken van het chemische dampdeposito en pyrazolylcomplexen gebruikt. De complexen en de methodes zijn bijzonder geschikt voor de voorbereiding van halfgeleiderstructuren.