A hollow waveguide that transmits ultraviolet light with low attenuation. The present invention comprises a small-diameter, thin-wall, glass tube and a thin aluminum film on the inner surface of the glass tube. The aluminum film is deposited by a chemical vapor deposition method using an organometallic of aluminum as a precursor. The deposition process produces high smoothness of the film surface.

Una guida di onde vuota che trasmette la luce ultravioletta con attenuazione bassa. La presente invenzione contiene un diametro, una sottile-parete, un tubo di vetro e una pellicola di alluminio sottile sulla superficie interna del tubo di vetro. La pellicola di alluminio è depositata con un metodo di deposito di vapore chimico usando un organometallico di alluminio come precursore. Il processo di deposito produce l'alta scorrevolezza della superficie della pellicola.