An XY stage for precision movement for use in aligning a wafer in a microlithography system. A main stage supporting the wafer straddles a movable beam that is magnetically driven in a first linear direction in the XY plane. A follower stage, mechanically independent of the main stage, also moves in the first linear (X) direction and its motion is electronically synchronized by a control system with the main stage motion in the X direction. Electromagnetic drive motors include magnetic tracks mounted on the follower stage which cooperate with motor coils mounted on the edges of the main stage to move the main stage in a second linear (Y) direction normal to the X direction. Thus the main stage is isolated from mechanical disturbances in the XY plane since there is no mechanical connections and is lightened by removing the weight of the magnetic tracks from the beam. A cable follower stage moves in the Y direction on the follower stage and supports the cables connecting to the main stage, thereby reducing cable drag. An air circulation system is provided in the magnetic tracks on the follower stage to remove heat from operation of the electromagnetic motors. Air is removed from a central region of each track by a vacuum duct enhanced by air plugs fitting at the two ends of the motor coil assembly on the main stage to contain the air therein.

Een stadium XY voor precisiebeweging voor gebruik in het richten van een wafeltje in een microlithographysysteem. Een hoofdstadium ondersteunend het wafeltje spreekt zich niet uit over een beweegbare straal die magnetisch in een eerste lineaire richting in het vliegtuig XY wordt gedreven. Een aanhangerstadium, mechanisch onafhankelijke van het belangrijkste stadium, beweegt zich ook in de eerste lineaire (X) richting en zijn motie wordt elektronisch gesynchroniseerd door een controlesysteem met de belangrijkste stadiummotie in de richting van X. De elektromagnetische aandrijvingsmotoren omvatten magnetische sporen opgezet op het aanhangerstadium die met motorrollen opgezet op de randen van het belangrijkste stadium samenwerken om het belangrijkste stadium in een tweede lineaire (Y) richting te bewegen normaal aan de richting van X. Aldus is het belangrijkste stadium geïsoleerd van mechanische storingen in het vliegtuig XY aangezien er geen mechanische verbindingen zijn en door het gewicht magnetische sporen uit de straal te verwijderen verlicht. Een stadium van de kabelaanhanger beweegt zich in de richting van Y op het aanhangerstadium en steunt de kabels die met het belangrijkste stadium verbinden, daardoor verminderend kabelbelemmering. Een luchtcirculatiesysteem wordt verstrekt in de magnetische sporen op het aanhangerstadium om hitte uit verrichting van de elektromagnetische motoren te verwijderen. De lucht wordt verwijderd uit een centraal gebied van elk spoor door een vacuümbuis die door luchtstoppen wordt verbeterd die op de twee einden van de assemblage van de motorrol over het belangrijkste stadium passen de lucht daarin te bevatten.