A micromachined, monolithic silicon flow meter includes a vane 28 from which projects a hinge. The hinge is provided by torsion bars 24. The hinge supports the vane 28 for rotation about the torsion bars 24. A deflection sensor, consisting of a torsion sensor 42, incorporated into at least one of the torsion bars 24, senses deflection of the vane 28 responsive to fluid impinging thereupon. The frame 22, the torsion bars 24, the vane 28 and the torsion sensor 42 are all monolithically fabricated in a semi-conductor single-crystal silicon layer of a substrate.

A micromachined, monolithischer Silikonströmungsmesser mit.einschließt eine Schaufel 28 von deren Projekten ein Scharnier. Das Scharnier wird von Torsion Stäben 24 zur Verfügung gestellt. Das Scharnier stützt die Schaufel 28 für Umdrehung über die Torsion Stäbe 24. Ein Ablenkung Sensor, bestehend aus einem Torsion Sensor 42, verband in einen mindestens der Torsion Stäbe 24, abfragt Ablenkung der Schaufel 28, die der Flüssigkeit entgegenkommend ist, die darauf zusammenstößt. Der Spant 22, die Torsion hält 24, die Schaufel 28 ab und aller Torsion Sensor 42 sind, der monolithisch in einer Halbleiter Einzelnkristall Silikonschicht eines Substrates fabriziert wird.