A process for producing a nanoporous polymer film of no greater than 10 micron thickness having low dielectric constant value, including the steps of: (a) providing a polymer in a solution with at least two solvents for the polymer in which a lowest boiling solvent and a highest boiling solvent have a difference in their respective boiling points of approximately 50.degree. C. or greater; (b) forming a film of the polymer in solution with at least the two solvents on a substrate; (c) removing a predominant amount of the lowest boiling solvent; (d) contacting the film with a fluid which is a non-solvent for the polymer, but which is miscible with the at least two solvents to induce phase inversion in the film; (e) forming an average pore size in the film in the range of less than 30 nanometers. The present invention is also nanoporous films made by the above process.

Ein Prozeß für das Produzieren eines nanoporous Polymer-Plastik Filmes ohne die Stärke von grösser als 10 Mikron, die niedrigen Dielektrizitätskonstantewert, einschließlich die Schritte von hat: (a), ein Polymer-Plastik in einer Lösung mit mindestens zwei Lösungsmitteln für das Polymer-Plastik versehend, in dem ein niedrigstes kochendes Lösungsmittel und ein höchstes kochendes Lösungsmittel einen Unterschied bezüglich ihrer jeweiligen Siedepunkte ungefähr 50.degree haben. C. oder grösseres; (b) Formung eines Filmes des Polymer-Plastiks in gelöster Form mit mindestens den zwei Lösungsmitteln auf einem Substrat; (c) Entfernen einer überwiegenden Menge des niedrigsten kochenden Lösungsmittels; (d), mit dem Film mit einer Flüssigkeit in Verbindung tretend, die ein Nichtlösungsmittel für das Polymer-Plastik ist, aber, die mit den mindestens zwei Lösungsmitteln mischbar ist, Phase Umstellung im Film zu verursachen; (e) Formung einer durchschnittlichen Poregröße im Film in der Strecke weniger als 30 Nanometer. Die anwesende Erfindung ist auch die nanoporous Filme, die durch den oben genannten Prozeß gebildet werden.