Method and apparatus for forming thin films by the application of a film
forming liquid to a substrate at rest or rotating a speed up to 500 rpm
and then rotating the film forming liquid on the substrate at a speed and
for a time sufficient to form the thin film. Such films can be used for
analysis by spectrophotometric methods. Apparatus for forming such thin
films is also disclosed.
Méthode et appareil pour former les couches minces par l'application d'un film formant le liquide à un substrat au repos ou tournant une accélération jusqu à 500 t/mn et puis tournant le film formant le liquide sur le substrat à une vitesse et pendant un certain temps suffisamment pour former la couche mince. De tels films peuvent être employés pour l'analyse par des méthodes spectrophotométriques. L'appareil pour former de telles couches minces est également révélé.