The invention relates to a vortex flow meter for ultra pure applications. The vortex flow meter of the invention employs a smooth and continuous fluorocarbon layer to coat a number of fluid accessible surfaces of the flowmeter. The coating prevents or minimizes contact between the process fluid and the fluid accessible surfaces of the flowmeter, thus allowing the flow meter to measure the flow rate of a process fluid having a level of purity of typically one part per trillion without contaminating the fluid. The flowmeter of the invention is advantageously less costly and more accurate than conventional flow meters for ultra pure applications.

La invención se relaciona con un metro de flujo del vórtice para los usos ultra puros. El metro de flujo del vórtice de la invención emplea una capa lisa y continua del fluorocarbon para cubrir un número de superficies accesibles flúidas del flujómetro. La capa previene o reduce al mínimo el contacto entre el líquido de proceso y las superficies accesibles flúidas del flujómetro, así permitiendo que el metro de flujo mida el caudal de un líquido de proceso que tiene un nivel de la pureza de típicamente una porción por trillón sin la contaminación del líquido. El flujómetro de la invención es ventajoso menos costoso y más exacto que los metros de flujo convencionales para los usos ultra puros.