An aluminum nitride sintered body has excellent thermal shock resistance
and strength, and is applicable to a radiating substrate for a power
module or a jig for semiconductor equipment employed under a strict heat
cycle. The aluminum nitride sintered body contains 0.01 to 5 percent by
weight of an alkaline earth metal element compound in terms of an oxide
and 0.01 to 10 percent by weight of a rare earth element compound in terms
of an oxide, respectively as sintering aids, and a residual amount of
carbon in a range from 0.005 to 0.1 percent by weight, thereby suppressing
grain growth and improving thermal shock resistance and strength of the
sintered body.
Un corpo sinterizzato nitruro di alluminio ha la resistenza eccellente e resistenza di urto termico ed è applicabile ad un substrato di irradiamento per un modulo di alimentazione o ad una mascherina per l'apparecchiatura a semiconduttore impiegata sotto un ciclo rigoroso di calore. Il corpo sinterizzato nitruro di alluminio contiene 0.01 - 5 per cento a peso di un residuo alcalino-terroso dell'elemento in termini di ossido e 0.01 - 10 per cento a peso di un residuo dell'elemento della terra rara in termini di ossido, rispettivamente come sussidi di sinterizzazione e una quantità residua di carbonio in una gamma da 0.005 a 0.1 per cento di peso, quindi sopprimente lo sviluppo del grano e migliorante la resistenza di urto termico e la resistenza del corpo sinterizzato.