An acousto-optic deflector which has a thin film waveguide layer on a buffer layer formed on a substrate and an IDT and light incidence/emergence means on the thin film waveguide layer. As the thin film waveguide layer, a piezoelectric material such as a ZnO film is used. As the substrate, a material with a resistivity of not more than 20 .OMEGA.cm is used. Sezawa waves are excited on the thin film waveguide layer by the IDT, and a laser beam traveling in the thin film waveguide layer is deflected by the Sezawa waves. If the ZnO thin film waveguide layer has a thickness of h and if the excited Sezawa waves have a wavelength of .lambda., 0.2 Ein akustisch-optisches Umlenkblech, das eine Dünnfilmwellenleiterschicht auf einer Pufferschicht hat, bildete sich auf einem Substrat und ein IDT und ein Licht incidence/emergence bedeutet auf der Dünnfilmwellenleiterschicht. Als die Dünnfilmwellenleiterschicht wird ein piezoelektrisches Material wie ein ZnO Film benutzt. Als das Substrat wird ein Material mit einer Widerstandskraft von nicht mehr OMEGA.cm Als 20 benutzt. Sezawa Wellen werden auf der Dünnfilmwellenleiterschicht durch das IDT aufgeregt, und ein Laserstrahl, der in die Dünnfilmwellenleiterschicht reist, wird durch die Sezawa Wellen abgelenkt. Wenn die ZnO Dünnfilmwellenleiterschicht eine Stärke von h hat und wenn die aufgeregten Sezawa Wellen eine Wellenlänge von lambda. haben, 0.2

 
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