The present invention relates to a method of manufacturing a compound
semiconductor thin film by the thermal decomposition of a metal organic
compound and a solar cell using the above thin film. An organic solvent
solution of the metal organic compound containing at least one
metal-sulfur bond is pulverized into fine particles by an ultrasonic
vibration method or by a spray injection method and the obtained fine
particles or gaseous metal organic compound are thermally decomposed by
contacting them on the heated surface of a thin film forming substrate and
thus a compound semiconductor metal sulfide thin film is formed on the
thin film forming substrate. With this method, a compound semiconductor
thin film of large surface area with uniform quality can be manufactured
at low manufacturing cost with good reproducibility. These metal sulfide
thin films are of high purity, high density and high quality and thus can
be used for various photo-electronic devices.
A invenção atual relaciona-se a um método de manufaturar uma película fina de semicondutor composto pelo decomposition térmico de uma pilha composta do metal e solar orgânica usando a película fina acima. Uma solução do solvente orgânico do composto orgânico do metal que contem ao menos um metal-enxôfre bond pulverized em partículas finas por um método ultra-sônico da vibração ou por um método da injeção do pulverizador e pelo metal fino obtido do partícula ou o gasoso o composto orgânico decomposed tèrmica contatando os na superfície aquecida de uma película fina que dá forma à carcaça e uma película fina do sulfide do metal do semicondutor composto é dada forma assim na película fina que dá forma à carcaça. Com este método, uma película fina de semicondutor composto da área de superfície grande com qualidade uniforme pode ser manufactured no manufacturing baixo custado com reproducibility bom. Estas películas finas do sulfide do metal são do purity elevado, da densidade elevada e da qualidade elevada e assim podem ser usadas para vários dispositivos foto-eletrônicos.