A MEMs scanning device has a variable resonant frequency. In one embodiment, the MEMs device includes a flexible arm that extends from an oscillatory body. An electrical field applies a force to the flexible arm, thereby bending the flexible arm to change the moment of inertia of the oscillatory body and a secondary mass carried by the flexible arm. The shifted combined center of mass changes the resonant frequency of the MEMs device. In another embodiment, an absorptive material forms a portion of a torsional arm that supports the oscillatory body. The mechanical properties of the absorptive material can be varied by varying the concentration of a gas surrounding the absorptive material. The varied mechanical properties change the resonant frequency of the scanning device. A display apparatus includes the scanning device and the scanning device scans about two or more axes, typically in a raster pattern. Various approaches to controlling the frequency responses of the scanning device are described, including active control of MEMs scanners and passive frequency tuning.

Μια συσκευή ανίχνευσης MEMs έχει μια μεταβλητή ηχηρή συχνότητα. Σε μια ενσωμάτωση, η συσκευή MEMs περιλαμβάνει έναν εύκαμπτο βραχίονα που επεκτείνεται από ένα ταλαντώσεων σώμα. Ένας ηλεκτρικός τομέας εφαρμόζει μια δύναμη στον εύκαμπτο βραχίονα, με αυτόν τον τρόπο κάμπτοντας τον εύκαμπτο βραχίονα για να αλλάξει τη στιγμή της αδράνειας του ταλαντώσεων σώματος και μιας δευτεροβάθμιας μάζας που φέρονται από τον εύκαμπτο βραχίονα. Το μετατοπισμένο συνδυασμένο κέντρο της μάζας αλλάζει την ηχηρή συχνότητα της συσκευής MEMs. Σε μια άλλη ενσωμάτωση, ένα απορροφητικό υλικό διαμορφώνει μια μερίδα ενός torsional βραχίονα που υποστηρίζει το ταλαντώσεων σώμα. Οι μηχανικές ιδιότητες του απορροφητικόυ υλικού μπορούν να ποικληθούν με την ποικιλία της συγκέντρωσης αέριο να περιβάλουν το απορροφητικό υλικό. Οι ποικίλες μηχανικές ιδιότητες αλλάζουν την ηχηρή συχνότητα της συσκευής ανίχνευσης. Μια συσκευή επίδειξης περιλαμβάνει τη συσκευή ανίχνευσης και τις ανιχνεύσεις συσκευών ανίχνευσης για δύο ή περισσότερους άξονες, χαρακτηριστικά σε ένα σχέδιο ράστερ. Οι διάφορες προσεγγίσεις στον έλεγχο των απαντήσεων συχνότητας της συσκευής ανίχνευσης περιγράφονται, συμπεριλαμβανομένου του ενεργού ελέγχου των ανιχνευτών MEMs και του ενεργητικού συντονισμού συχνότητας.