A field emission type electron source 10 is provided with an n-type silicon
substrate 1, a strong field drift layer 6 formed on the n-type silicon
substrate 1 directly or inserting a polycrystalline silicon layer 3
therebetween, and an electrically conductive thin film 7, which is a thin
gold film, formed on the strong field drift layer 6. Further, an ohmic
electrode 2 is provided on the back surface of the n-type silicon
substrate 1. Hereupon, electrons, which are injected from the n-type
silicon substrate 1 into the strong field drift layer 6, drift in the
strong field drift layer 6 toward the surface of the layer, and then pass
through the electrically conductive thin film 7 to be emitted outward. The
strong field drift layer 6 is formed by making the polycrystalline silicon
3 formed on the n-type silicon substrate 1 porous by means of an anodic
oxidation, and further oxidizing it using dilute nitric acid or the like.
Un tipo la fonte 10 dell'emissione del campo dell'elettrone è fornito di un n-tipo il substrato 1 del silicone, uno strato forte 6 della direzione del campo formato direttamente sul n-tipo il substrato 1 del silicone o inserendo un silicone policristallino fa uno strato di 3 therebetween e una pellicola sottile elettricamente conduttiva 7, che è una pellicola sottile dell'oro, formata sullo strato forte 6 della direzione del campo. Più ulteriormente, un elettrodo ohmico 2 è fornito sulla superficie posteriore del n-tipo il substrato 1 del silicone. Hereupon, gli elettroni, che sono iniettati dal n-tipo il substrato 1 del silicone nello strato forte 6 della direzione del campo, vanno alla deriva nello strato forte 6 della direzione del campo verso la superficie dello strato ed allora attraversano la pellicola sottile elettricamente conduttiva 7 da emettere esternamente. Lo strato forte 6 della direzione del campo è costituito dal rendere il silicone policristallino 3 formato sul n-tipo il substrato 1 del silicone poroso per mezzo di un'ossidazione anodica ed ulteriore ossidandola che usando l'acido nitrico e simili diluito.
