The present invention generally provides a robot that can transfer workpieces, such as silicon wafers, at increased speeds and accelerations and decelerations. More particularly, the present invention provides a robot wrist associated with the robot arm for mechanically clamping a workpiece to a workpiece handling member attached to the arm. The wafer clamp selectively applies sufficient force to hold the workpiece and prevent slippage and damage to the workpiece during rapid rotation and linear movement of the handling member. In a particular embodiment, a clamp for securing silicon wafers uses a flexure assembly to position and hold the wafer with minimal particle generation and wafer damage. The clamp is designed so that the wafers are normally clamped near full extension of the workpiece handling member to deliver or pick up a wafer. A particular embodiment uses a pneumatic cylinder to actuate the flexure assembly so that the flexure assembly moves outwardly and rearwardly away from the wafer when actuated at or near full extension of the workpiece handling member.

La presente invenzione fornisce generalmente un robot che può trasferire i pezzi in lavorazione, quali le lastre di silicio, alle velocità ed accelerazioni e decelerations aumentati. Più specialmente, la presente invenzione fornisce un polso del robot connesso con il braccio del robot per meccanicamente la pressione del pezzo in lavorazione ad un pezzo in lavorazione che maneggia il membro fissato al braccio. Il morsetto della cialda applica selettivamente la forza sufficiente per tenere il pezzo in lavorazione e per prevenire danni lo slittamento e to il pezzo in lavorazione durante rotazione veloce ed il movimento lineare del membro di maneggiamento. In un procedimento particolare, un morsetto per il fissaggio delle lastre di silicio utilizza un complessivo di flessione per posizionare e tenere la cialda con danni minimi della generazione e della cialda della particella. Il morsetto è progettato in moda da premere normalmente le cialde vicino all'estensione completa del pezzo in lavorazione che maneggia il membro per trasportare o prendere una cialda. Un procedimento particolare utilizza un cilindro pneumatico per attuare il complessivo di flessione in modo che il complessivo di flessione si muova esteriormente ed all'indietro via dalla cialda una volta attuato nei pressi o in l'estensione completa del pezzo in lavorazione che maneggia il membro.