A soft X-ray source includes a mirror having a focal point, the mirror being one of parabolic and ellipsoidal, a nozzle delivering a target material to a plasma generation point substantially coincident with the focal point, and a laser source delivering a pulsed laser beam to the plasma generation point, wherein a plasma is generated at the plasma generation point upon irradiation by the pulsed laser beam, the plasma emitting soft X-rays that are formed into beams by the mirror, the beams being parallel if the mirror is parabolic and converging if the mirror is ellipsoidal.

Una fuente suave de la radiografía incluye un espejo que tiene un punto focal, el espejo que es una de parabólico y de elipsoidal, un inyector que entrega un material de la blanco a un punto de la generación del plasma substancialmente coincidente con el punto focal, y una fuente de laser que entrega un rayo laser pulsado al punto de la generación del plasma, en donde un plasma es generada en el punto de la generación del plasma sobre la irradiación por el rayo laser pulsado, el plasma que emite las radiografías suaves que son formadas en las vigas por el espejo, las vigas que son paralelo si el espejo es parabólico y convergente si el espejo es elipsoidal.