An apparatus for supplying a mixture of a treatment liquid and ozone for treatment of a surface of a workpiece, and a corresponding method are set forth. The preferred embodiment of the apparatus comprises a liquid supply line that is used to provide fluid communication between a reservoir containing the treatment liquid and a treatment chamber housing the workpiece. A heater is disposed to heat the workpiece, either directly or indirectly. Preferably, the workpiece is heated by heating the treatment liquid that is supplied to the workpiece. One or more nozzles accept the treatment liquid from the liquid supply line and spray it onto the surface of the workpiece while an ozone generator provides ozone into an environment containing the workpiece.

Um instrumento para fornecer uma mistura de um líquido do tratamento e o ozônio para o tratamento de uma superfície de um workpiece, e um método correspondente são determinados. A incorporação preferida do instrumento compreende uma linha de fonte líquida que seja usada fornecer uma comunicação fluida entre um reservatório que contêm o líquido do tratamento e uma câmara do tratamento que abriga o workpiece. Um calefator é disposto aquecer diretamente ou indiretamente o workpiece. Preferivelmente, o workpiece é aquecido aquecendo o líquido do tratamento que é fornecido ao workpiece. Um ou os mais bocal aceita o líquido do tratamento da linha de fonte líquida e pulveriza-o na superfície do workpiece quando um gerador do ozônio fornecer o ozônio em um ambiente que contem o workpiece.