A typical integrated circuit interconnects millions of microscopic
transistors and resistors with aluminum wires buried in silicon-dioxide
insulation. Yet, aluminum wires and silicon-dioxide insulation are a less
attractive combination than gold, silver, or copper wires combined with
polymer-based insulation, which promise both lower electrical resistance
and capacitance and thus faster, more efficient circuits. Unfortunately,
conventional etch-based techniques are ineffective with gold, silver, or
copper, and conventional polymer formation promote reactions with metals
that undermine the insulative properties of polymer-based insulations.
Accordingly, the inventor devised methods which use a liftoff procedure to
avoid etching problems and a non-acid-polymeric precursor and
non-oxidizing cure procedure to preserve the insulative properties of the
polymeric insulator. The resulting interconnective structures facilitate
integrated circuits with better speed and efficiency.
Un circuito integrato tipico collega milioni di transistori e di resistori microscopici con i legare di alluminio sepolti nell'isolamento del silicone-diossido. Tuttavia, i legare e l'isolamento di alluminio del silicone-diossido sono una combinazione meno attraente che l'oro, l'argento, o i legare del rame uniti con isolamento polimero-basato, che promettono sia la resistenza elettrica più bassa che la capacità e così più veloce, circuiti più efficienti. Purtroppo, tecniche incid-basate convenzionali sia inefficace con oro, argento, o rame e la formazione convenzionale del polimero promuove le reazioni con i metalli che insidiano le proprietà insulative degli isolamenti polimero-basati. Di conseguenza, l'inventore ha inventato i metodi che seguono una procedura del liftoff per evitare i problemi acquaforte e la procedura della cura non-acido-polimerica di non-ossidazione e del precursore per conservare le proprietà insulative dell'isolante polimerico. Le strutture interconnective risultanti facilitano i circuiti integrati con velocità ed efficienza migliori.
