A method for producing a synthetic silica glass for use with vacuum ultraviolet light comprises the steps of: (a) producing a soot preform; (b) heating the soot preform in an atmosphere containing fluorine to obtain a fluorine-doped soot preform; (c) consolidating the fluorine-doped soot preform to obtain a fluorine-doped synthetic silica glass; and (d) heating the fluorine-doped synthetic silica glass in an atmosphere containing hydrogen gas to obtain a synthetic silica glass doped with fluorine and hydrogen molecules. A synthetic silica glass having both a high transmittance and high ultraviolet light resistance with respect to light in the vacuum ultraviolet wavelength range can be produced.

Μια μέθοδος για ένα συνθετικό γυαλί πυριτίου για τη χρήση με το κενό υπεριώδες φως περιλαμβάνει βήμα: (α) παραγωγή ενός προσχηματισμού αιθάλης (β) θέρμανση του προσχηματισμού αιθάλης σε μια ατμόσφαιρα που περιέχει το φθόριο για να λάβει έναν φθόριο-ναρκωμένο προσχηματισμό αιθάλης (γ) παγίωση του φθόριο-ναρκωμένου προσχηματισμού αιθάλης για να λάβει ένα φθόριο-ναρκωμένο συνθετικό γυαλί πυριτίου και (δ) θερμαίνοντας το φθόριο-ναρκωμένο συνθετικό γυαλί πυριτίου σε μια ατμόσφαιρα που περιέχει το υδρογόνο για να λάβει αέριο ένα συνθετικό γυαλί πυριτίου που ναρκώνεται με τα μόρια φθορίου και υδρογόνου. Ένα συνθετικό γυαλί πυριτίου που έχει και μια υψηλή μετάδοση και την υψηλή υπεριώδες φως αντίσταση όσον αφορά φως στην κενή σειρά υπεριώδους μήκους κύματος μπορεί να παραχθεί.