A microelectromechanical (MEMS) device is provided that includes a microelectronic substrate, a microactuator disposed on the substrate and formed of a single crystalline material, and at least one metallic structure disposed on the substrate adjacent the microactuator such that the metallic structure is on substantially the same plane as the microactuator and is actuated thereby. For example, the MEMS device may be a microrelay. As such, the microrelay may include a pair of metallic structures that are controllably brought into contact by selective actuation of the microactuator. While the MEMS device can include various microactuators, one embodiment of the microactuator is a thermally actuated microactuator which advantageously includes a pair of spaced apart supports disposed on the substrate and at least one arched beam extending therebetween. By heating the at least one arched beam of the microactuator, the arched beams will further arch. In an alternate embodiment, the microactuator is an electrostatic microactuator which includes a stationary stator and a movable shuttle. Imposing an electrical bias between the stator and the shuttle causes the shuttle to move with respect to the stator. Thus, on actuation, the microactuator moves between a first position in which the microactuator is spaced apart from the at least one metallic structure to a second position in which the microactuator operably engages the at least one metallic structure. Several advantageous methods for fabricating a MEMS device having both single crystal components and metallic components are also provided.

Eine microelectromechanical Vorrichtung (MEMS) ist, vorausgesetzt daß ein Mikroelektronisches Substrat, ein microactuator miteinschließt, das auf dem Substrat abgeschaffen wird und von einem einzelnen kristallenen Material gebildet ist, und mindestens eine metallische Struktur, die auf dem angrenzenden Substrat das microactuator so abgeschaffen wird, daß die metallische Struktur auf im wesentlichen der gleichen Fläche wie das microactuator ist und dadurch betätigt wird. Z.B. kann die MEMS Vorrichtung ein microrelay sein. Als solcher, kann das microrelay ein Paar metallische Strukturen einschließen, die controllably in Kontakt durch vorgewählte Betätigung des microactuator geholt werden. Während die MEMS Vorrichtung verschiedene microactuators mit einschließen kann, ist eine Verkörperung des microactuator ein thermisch betätigtes microactuator, das vorteilhaft ein Paar Raumgetrenntunterstützungen einschließt, die auf dem Substrat abgeschaffen werden und ein gewölbtes Lichtstrahlmindestens therebetween verlängern. Indem sie den mindestens einen gewölbten Lichtstrahl des microactuator heizen, wölben sich die gewölbten Lichtstrahlen weiter. In einer wechselnden Verkörperung ist das microactuator ein elektrostatisches microactuator, das einen stationären Stator und einen beweglichen Doppelventilkegel miteinschließt. Das Auferlegen einer elektrischen Vorspannung zwischen dem Stator und dem Doppelventilkegel veranläßt den Doppelventilkegel, in Bezug auf den Stator zu bewegen. So auf Betätigung, bewegt das microactuator zwischen eine erste Position, in der das microactuator abgesehen von der mindestens einer metallischen Struktur in eine zweite Position gesperrt wird, in der das microactuator sich operably die mindestens eine metallische Struktur engagiert. Einige vorteilhafte Methoden für das Fabrizieren einer MEMS Vorrichtung, die Bestandteile des einzelnen Kristalles und metallische Bestandteile hat, werden auch zur Verfügung gestellt.