A secondary ion mass spectrometer using slow, highly charged ions produced
in an electron beam ion trap permits ultra-sensitive surface analysis and
high spatial resolution simultaneously. The spectrometer comprises an ion
source producing a primary ion beam of highly charged ions that are
directed at a target surface, a mass analyzer, and a microchannel plate
detector of secondary ions that are sputtered from the target surface
after interaction with the primary beam. The unusually high secondary ion
yield permits the use of coincidence counting, in which the secondary ion
stops are detected in coincidence with a particular secondary ion. The
association of specific molecular species can be correlated. The unique
multiple secondary nature of the highly charged ion interaction enables
this new analytical technique.
Μια δευτεροβάθμια ιονική χρησιμοποίηση μαζικών φασματομέτρων αργή, χρέωσε ιδιαίτερα τα ιόντα που παρήχθησαν σε μια ηλεκτρονίων δεσμών ιονική παγίδων ανάλυση επιφάνειας αδειών υπερευαίσθητη και ένα υψηλό χωρικό ψήφισμα ταυτόχρονα. Το φασματόμετρο περιλαμβάνει μια ιονική πηγή παράγοντας μια αρχική ιονική ακτίνα των ιδιαίτερα χρεωμένων ιόντων που κατευθύνονται σε μια επιφάνεια στόχων, μια μαζική συσκευή ανάλυσης, και έναν microchannel ανιχνευτή πιάτων των δευτεροβάθμιων ιόντων που ψεκάζονται από την επιφάνεια στόχων μετά από την αλληλεπίδραση με την αρχική ακτίνα. Η κατ'ασυνήθιστο τρόπο υψηλή δευτεροβάθμια ιονική παραγωγή επιτρέπει τη χρήση του υπολογισμού σύμπτωσης, στην οποία οι δευτεροβάθμιες ιονικές στάσεις ανιχνεύονται στη σύμπτωση με ένα ιδιαίτερο δευτεροβάθμιο ιόν. Η ένωση των συγκεκριμένων μοριακών ειδών μπορεί να συσχετιστεί. Η μοναδική πολλαπλάσια δευτεροβάθμια φύση της ιδιαίτερα χρεωμένης ιονικής αλληλεπίδρασης επιτρέπει αυτήν την νέα αναλυτική τεχνική.