A secondary ion mass spectrometer using slow, highly charged ions produced in an electron beam ion trap permits ultra-sensitive surface analysis and high spatial resolution simultaneously. The spectrometer comprises an ion source producing a primary ion beam of highly charged ions that are directed at a target surface, a mass analyzer, and a microchannel plate detector of secondary ions that are sputtered from the target surface after interaction with the primary beam. The unusually high secondary ion yield permits the use of coincidence counting, in which the secondary ion stops are detected in coincidence with a particular secondary ion. The association of specific molecular species can be correlated. The unique multiple secondary nature of the highly charged ion interaction enables this new analytical technique.

Μια δευτεροβάθμια ιονική χρησιμοποίηση μαζικών φασματομέτρων αργή, χρέωσε ιδιαίτερα τα ιόντα που παρήχθησαν σε μια ηλεκτρονίων δεσμών ιονική παγίδων ανάλυση επιφάνειας αδειών υπερευαίσθητη και ένα υψηλό χωρικό ψήφισμα ταυτόχρονα. Το φασματόμετρο περιλαμβάνει μια ιονική πηγή παράγοντας μια αρχική ιονική ακτίνα των ιδιαίτερα χρεωμένων ιόντων που κατευθύνονται σε μια επιφάνεια στόχων, μια μαζική συσκευή ανάλυσης, και έναν microchannel ανιχνευτή πιάτων των δευτεροβάθμιων ιόντων που ψεκάζονται από την επιφάνεια στόχων μετά από την αλληλεπίδραση με την αρχική ακτίνα. Η κατ'ασυνήθιστο τρόπο υψηλή δευτεροβάθμια ιονική παραγωγή επιτρέπει τη χρήση του υπολογισμού σύμπτωσης, στην οποία οι δευτεροβάθμιες ιονικές στάσεις ανιχνεύονται στη σύμπτωση με ένα ιδιαίτερο δευτεροβάθμιο ιόν. Η ένωση των συγκεκριμένων μοριακών ειδών μπορεί να συσχετιστεί. Η μοναδική πολλαπλάσια δευτεροβάθμια φύση της ιδιαίτερα χρεωμένης ιονικής αλληλεπίδρασης επιτρέπει αυτήν την νέα αναλυτική τεχνική.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Fully-dielectric-isolated FET technology

> Bimodal silicon nitride BAS ceramic composites

> (none)

~ 00015