A laser chamber with a circuitous gas return path dissipates shock waves.
In one embodiment, the laser chamber includes a heat exchanger with a
large surface area that defines an aerodynamic passage through which gas
circulates in the laser chamber. The passage through which the gas
circulates directs shock waves away from the discharge region so that the
shock waves may dissipate elsewhere in the laser chamber. In addition, the
large surface area of the heat exchanger efficiently cools the thermally
energetic gas within the laser chamber. In another embodiment, ancillary
chambers that are fluidically coupled to the main laser chamber are
provided to permit shock waves to be directed away from the discharge area
and to be dissipated within the ancillary chambers. Openings to the
ancillary chambers are positioned such that shock waves generated by the
electrode structure of the laser chamber may propagate directly into the
ancillary chamber, where the shock waves then dissipate. Flow guides, such
as blowers or flow vanes, may be provided in the ancillary chambers to
generate a circulation of gas within the ancillary chambers that will
support the laser chamber's flow of gas at the openings to the ancillary
chambers. Thus, the circulating gas within the laser chamber remains
uniform and stable.
Un compartimiento del laser con una trayectoria de vuelta del gas indirecto disipa ondas expansivas. En una encarnación, el compartimiento del laser incluye a cambiador de calor con un área superficial grande que defina un paso aerodinámico a través de el cual el gas circule en el compartimiento del laser. El paso a través de el cual el gas circula dirige ondas expansivas lejos de la región de la descarga de modo que las ondas expansivas puedan disiparse a otra parte en el compartimiento del laser. Además, el área superficial grande del cambiador de calor refresca eficientemente el gas termal enérgio dentro del compartimiento del laser. En otra encarnación, los compartimientos ancilares que fluidically se juntan al compartimiento principal del laser se proporcionan a las ondas expansivas del permiso que se dirigirán lejos del área de la descarga y que se disiparán dentro de los compartimientos ancilares. Las aberturas a los compartimientos ancilares se colocan tales que las ondas expansivas generadas por la estructura del electrodo del compartimiento del laser pueden propagar directamente en el compartimiento ancilar, adonde las ondas expansivas entonces se disipan. Las guías del flujo, tales como sopladores o paletas del flujo, se pueden proporcionar en los compartimientos ancilares para generar una circulación del gas dentro de los compartimientos ancilares que apoyarán el flujo del compartimiento del laser del gas en las aberturas a los compartimientos ancilares. Así, el gas que circula dentro del uniforme y del establo del restos del compartimiento del laser.