An SrRuO.sub.3 film as the lower electrode and upper electrode of a capacitor is formed by CVD using a gas mixture of Sr(THD).sub.2 and Ru(THD).sub.3 as source gases. A Ba.sub.x Sr.sub.1-x RuO.sub.3 film is used as a capacitor insulating film.

Μια ταινία SrRuO.sub.3 ως χαμηλότερο ηλεκτρόδιο και ανώτερο ηλεκτρόδιο ενός πυκνωτή διαμορφώνεται από cvd χρησιμοποιώντας ένα αέριο μίγμα του Sr(THD).sub.2 και του Ru(THD).sub.3 ως αέρια πηγής. Ένα Ba.sub.x σρ.σuψ.1-Χ ταινία RuO.sub.3 χρησιμοποιείται ως μονώνοντας ταινία πυκνωτών.