The present invention relates to a novel method of manufacturing carbon nanotubes and a method of manufacturing a nanotube film that is composed of a multitude of carbon nanotubes so oriented as to extend along a thickness direction of the film. The present invention further relates to a structure equipped with a carbon nanotube film formed on a surface of a base plate portion. In the method of the present invention, SiC is heated under vacuum to remove silicon atoms from the SiC, whereby the carbon nanotubes are formed at a portion of the SiC where the silicon atoms have been removed. This method makes it possible to manufacture carbon nanotubes with high yields as well as high purity. The carbon nanotubes formed according to this method tend to be oriented perpendicularly to the surface of the SiC crystal. Thus, it is possible to obtain a nanotube film composed of the aforementioned carbon nanotubes with a high degree of orientation. This method facilitates the manufacture of a nanotube film with a large area.

La presente invenzione riguarda un metodo del romanzo di produzione dei nanotubes del carbonio e un metodo di produzione della pellicola del nanotube che si compone di gran numero di nanotubes del carbonio in modo da orientato quanto a estendasi lungo un senso di spessore della pellicola. La presente invenzione ulteriore si riferisce ad una struttura dotata di una pellicola del nanotube del carbonio formata su una superficie di una parte della base di appoggio. Nel metodo di presente invenzione, SiC è riscaldato sotto vuoto per rimuovere gli atomi del silicone dal SiC, per cui i nanotubes del carbonio sono formati ad una parte del SiC dove gli atomi del silicone sono stati rimossi. Questo metodo permette di produrre i nanotubes del carbonio con gli alti rendimenti come pure elevata purezza. I nanotubes del carbonio hanno formato secondo questo metodo tendono ad essere orientati perpendicolarmente alla superficie del cristallo di SiC. Quindi, è possibile ottenere una pellicola del nanotube composta di nanotubes sopraccennati del carbonio con un alto grado dell'orientamento. Questo metodo facilita la fabbricazione di pellicola del nanotube con una grande zona.