An integral structure within an MEMS device is used to filter out foreign bodies in a fluid supply. The system is initially constructed in a large planar form, and the effect of impurities is reduced by fabricating an integral grill structure in the path of the flow of the liquid so as to filter foreign, bodies in the liquid. Ideally used in an ink jet printing system, the grill forms one wall of a nozzle chamber for filtering ink entering the nozzle chamber to be ejected from the nozzle chamber. The filter can be constructed from nitride as is the nozzle chamber.

Uma estrutura integral dentro de um dispositivo de MEMS é usada filtrar para fora corpos extrangeiros em uma fonte fluida. O sistema é construído inicialmente em um formulário planar grande, e o efeito das impurezas é reduzido fabricando uma estrutura integral da grade no trajeto do fluxo do líquido para filtrar extrangeiros, corpos no líquido. Usado idealmente em um sistema imprimindo do jato da tinta, a grade dá forma a uma parede de uma câmara do bocal para a tinta filtrando que incorpora a câmara do bocal a ser ejetada da câmara do bocal. O filtro pode ser construído do nitride como é a câmara do bocal.