An apparatus and process for ablating an array matrix of high-density vias in a flexible and rigid desired object. The apparatus contains a mirror based x, y scanning repeat positioning and/or a single axis scanner positioning system that directs a single point of a coherent light radiation beam at desired individual mask segments. These mask segments are formed into a planar mask array. A flat field collimating lens system is positioned between the mirror scanning system and the mask arrays to correct the angular beam output of the repeat positioning mirror and redirects the beam so that it strikes a specific rear surface segment(s) of in the mask array. The flat field collimating lens provides a beam that either illuminates the mask perpendicular to its surface or at preselected optimized illumination angles. Once illuminated, the specific segment of the mask array images and processes a single or a plurality of desired holes or features in a top surface of a flexible or rigid desired object to be processed.

Apparaten en een proces om een seriematrijs van high-density vias in een flexibel en stijf gewenst voorwerp weg te nemen. Het apparaat bevat spiegel gebaseerd x, herhaalt het yaftasten het plaatsen en/of één enkel plaatsend systeem van de asscanner dat één enkel punt van een coherente lichte stralingsstraal bij gewenste individuele maskersegmenten leidt. Deze maskersegmenten worden gevormd in een vlakmaskerserie. Een vlak gebied dat lenssysteem collimeert wordt geplaatst tussen het systeem van het spiegelaftasten en de maskerseries om de hoekige straaloutput van de herhalings plaatsende spiegel te verbeteren en opnieuw richt de straal zodat het een specifiek achteroppervlaktesegment (s) van in de maskerserie slaat. Het vlakke gebied dat lens collimeert verstrekt een straal dat of de maskerloodlijn aan zijn oppervlakte of bij voorgeselecteerde geoptimaliseerde verlichtingshoeken verlicht. Zodra verlicht, het specifieke segment de beelden en processen van de maskerserie enig of een meerderheid van gewenste gaten of eigenschappen in een hoogste oppervlakte van een flexibel of stijf gewenst te verwerken voorwerp.