Processes and systems to recover at least one perfluorocompound gas from a gas mixture are provided. In one embodiment the inventive process comprises the steps of a) providing a gas mixture comprising at least one perfluorocompound gas and at least one carrier gas, the gas mixture being at a predetermined pressure; b) providing at least one glassy polymer membrane having a feed side and a permeate side; c) contacting the feed side of the at least one membrane with the gas mixture; d) withdrawing from the feed side of the membrane as a non-permeate stream at a pressure which is substantially equal to the predetermined pressure a concentrated gas mixture comprising essentially the at least one perfluorocompound gas; and e) withdrawing from the permeate side of the membrane as a permeate stream a depleted gas mixture comprising essentially the at least one carrier gas.

Os processos e os sistemas para recuperar ao menos um gás do perfluorocompound de uma mistura do gás são fornecidos. Em uma incorporação o processo inventive compreende as etapas a) que fornecem de uma mistura do gás que compreende ao menos um gás do perfluorocompound e ao menos um gás de portador, a mistura do gás que está em uma pressão predeterminada; b) fornecendo ao menos uma membrana glassy do polímero que tem um lado da alimentação e um lado permeate; c) contatando o lado da alimentação da ao menos uma membrana com a mistura do gás; d) retirando-se do lado da alimentação da membrana como non-non-permeate o córrego em uma pressão que seja substancialmente igual à pressão predeterminada um a mistura concentrada do gás que compreende essencialmente o ao menos um gás do perfluorocompound; e e) retirando do lado permeate da membrana como um córrego permeate uma mistura esgotada do gás que compreende essencialmente o ao menos um gás de portador.