An upper electrode of an FRAM capacitor is connected to a diffusion layer
on the surface of a semiconductor substrate via a contact hole, second
interconnecting layer, contact hole, first interconnecting layer, and
contact hole. The first interconnecting layer is formed at substantially
the same level as the FRAM capacitor. This decreases the depth of the
contact hole connecting the first interconnecting layer to the surface of
the semiconductor substrate and thereby decreases the aspect ratio of this
contact hole. This facilitates processing and filling this contact hole
and allows micropatterning.
Um elétrodo superior de um capacitor de FRAM é conectado a uma camada da difusão na superfície de uma carcaça do semicondutor através de um furo do contato, à segunda camada interconectando, ao furo do contato, à primeira camada interconectando, e ao furo do contato. A primeira camada interconectando é dada forma substancialmente no mesmo nível que o capacitor de FRAM. Isto diminui a profundidade do furo do contato que conecta a primeira camada interconectando à superfície da carcaça do semicondutor e diminui desse modo a relação de aspecto deste furo do contato. Isto facilita processar e encher este furo do contato e reserva micropatterning.