A process for forming a relatively high quality, lower cost organic
semiconductor film is provided. A substrate is formed by depositing an
organic semiconductor film via a lower cost method such as printing or
spin coating on a support substrate. A portion of a solvent is vaporized
to bring the vapor into contact with the film. The chemical potential of
the vapor molecules is controlled to provide an interaction with the
organic semiconductor film to alter the molecular arrangement of the film.
The process further entails placing the substrate on a first temperature
controlled stage and placing the solvent on a second temperature
controlled stage. The chemical potential of the vapor is adjusted by
controlling the temperature of the solvent. Appropriate annealing
conditions are obtained by adjusting the temperature of the solvent, the
substrate, and the anneal time. The process can assist manufacturing of
lower cost displays that utilize arrays of organic thin-film transistors.
Ein Prozeß für die Formung einer verhältnismäßig hohen Qualität, organischer Halbleiterfilm der niedrigeren Kosten wird zur Verfügung gestellt. Ein Substrat wird gebildet, indem man einen organischen Halbleiterfilm über eine Methode der niedrigeren Kosten wie Druck oder Drehbeschleunigung niederlegt, die auf einem Unterstützungssubstrat beschichten. Ein Teil eines Lösungsmittels wird verdunstet, um den Dampf in Kontakt mit dem Film zu holen. Das chemische mögliche der Dampfmoleküle wird gesteuert, um eine Interaktion mit dem organischen Halbleiterfilm zu versehen, um die molekulare Anordnung für den Film zu ändern. Der weitere Prozeß hat, das Substrat auf ein erste Temperatur gesteuertes Stadium zu setzen zur Folge und das Lösungsmittel auf ein zweite Temperatur gesteuertes Stadium zu setzen. Das chemische mögliche des Dampfes wird durch das Steuern der Temperatur des Lösungsmittels justiert. Passende Ausglühenzustände werden erreicht, indem man die Temperatur des Lösungsmittels, des Substrates und der tempernzeit justiert. Der Prozeß kann Herstellung der Anzeigen der niedrigeren Kosten unterstützen, die Reihen der organischen Dünnfilmtransistoren verwenden.