A position determining system (10) particularly useful for translation and rotation measurement. The position of a stage (12) is optically detected using light beams (124) and sensors (132) in a detection section (112). In a control section (114), electronic processing using amplifiers (152, 166), phase-sensitive synchronous demodulators (158, 168), and filters (160, 170) then produces position signals (162, 172) which a logic unit (174) processes into a results signal (180) which is communicated via a communications link (176) to an external system (22). The external system (22) may then display the measurement results for a human user or use them as feedback to control movement of the stage (12). Optionally, the external system (22) may send instruction signals (178) via the communications link (176) to the logic unit (174) to control the operation of the position determining system (10).

Ένα καθοριστικό σύστημα θέσης (10) ιδιαίτερα χρήσιμο για τη μέτρηση μεταφράσεων και περιστροφής. Η θέση ενός σταδίου (12) ανιχνεύεται οπτικά χρησιμοποιώντας τις ελαφριές ακτίνες (124) και τους αισθητήρες (132) σε ένα τμήμα ανίχνευσης (112). Σε ένα τμήμα ελέγχου (114), ηλεκτρονική επεξεργασία που χρησιμοποιεί τους ενισχυτές (152, 166), φάση-ευαίσθητοι σύγχρονοι αποδιαμορφωτές (158, 168), και φίλτρα (160, 170) έπειτα παράγουν τα σήματα θέσης (162, 172) που μια μονάδα (174) διαδικασίες λογικής αποτελέσματα επισημαίνει (180) που διαβιβάζεται μέσω μιας σύνδεσης επικοινωνιών (176) σε ένα εξωτερικό σύστημα (22). Το εξωτερικό σύστημα (22) μπορεί έπειτα να επιδείξει τα αποτελέσματα μέτρησης για έναν ανθρώπινο χρήστη ή να τα χρησιμοποιήσει ως ανατροφοδότηση για να ελέγξει τη μετακίνηση του σταδίου (12). Προαιρετικά, το εξωτερικό σύστημα (22) μπορεί να στείλει τα σήματα οδηγίας (178) μέσω της σύνδεσης επικοινωνιών (176) στη μονάδα λογικής (174) για να ελέγξει τη λειτουργία του καθοριστικού συστήματος θέσης (10).

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Contact type prober automatic alignment

> System for ensuring the accuracy of file structures in a source-to-source computer program translator

> (none)

~ 00020