The present invention, generally speaking, provides an inductor-free power converter based on mechanical resonance using a single MEM device. Mechanical resonance and silicon strain energy are used as building blocks for a power converter, such as a boost converter. In such a "micromechanical boost converter," arbitrary step-up voltages can be developed using only a single micromechanical component. A dramatic improvement in power density is obtained as compared to conventional capacitor and inductor technologies. For typical MEM applications, such a converter, operating without discrete parts, can readily be fabricated together with the MEM device it powers. For non-MEM applications (e.g., the on-chip generation of high voltages, as for EEPROM programming, for example), the improvement in power density offers significant benefits, particularly for portable equipment.

La presente invenzione, parlante generalmente, fornisce un convertitore di alimentazione induttore-libero basato su risonanza meccanica per mezzo di singolo dispositivo di MEM. L'energia di sforzo meccanica del silicone e di risonanza è usata come blocchetti di costruzione per un convertitore di alimentazione, quale un convertitore di spinta. "in un convertitore micromechanical di spinta," le tensioni step-up arbitrarie possono essere sviluppate usando soltanto un singolo componente micromechanical. Un miglioramento drammatico nella densità di alimentazione è ottenuto rispetto alle tecnologie convenzionali dell'induttore e del condensatore. Per le applicazioni tipiche di MEM, un tal convertitore, funzionante senza parti di ricambio, può essere fabbricato prontamente insieme al dispositivo che di MEM alimenta. Per le applicazioni del non-MEM (per esempio, la generazione del su-circuito integrato di alte tensioni, come per EEPROM che si programma, per esempio), il miglioramento nella densità di alimentazione offre i benefici significativi, specialmente per apparecchiatura portatile.