Method and apparatus for processing a workpiece having a thin film layer using laser pulses generated by a plurality of lasers. The lasers are equipped with Q-switches and triggered by a Q-switch trigger device at controlled pulse frequencies and delays with respect to one another. The laser pulses from the plurality of lasers are directed to the same processing spot on the workpiece to generate a combined laser beam, and the workpiece is moved relative to the laser beam to process the thin film with the laser pulses. The method and apparatus increase the processing speed and accomplish multiple-step processing in a single pass. Application of the invention in the fabrication of thin film solar cells is described.

Μέθοδος και συσκευές για ένα κομμάτι προς κατεργασία που έχει ένα στρώμα λεπτών ταινιών που χρησιμοποιεί τους σφυγμούς λέιζερ που παράγονται από μια πολλαπλότητα των λέιζερ. Τα λέιζερ είναι εξοπλισμένα με τους q-djako'ptes και προκαλούμενα από μια συσκευή ώθησης q-djakoptw'n στις ελεγχόμενες συχνότητες και τις καθυστερήσεις σφυγμού όσον αφορά το ένα άλλη. Οι σφυγμοί λέιζερ από την πολλαπλότητα των λέιζερ κατευθύνονται στο ίδιο σημείο επεξεργασίας στο κομμάτι προς κατεργασία για να παραγάγουν μια συνδυασμένη ακτίνα λέιζερ, και το κομμάτι προς κατεργασία κινείται σχετικά με την ακτίνα λέιζερ για να επεξεργαστεί τη λεπτή ταινία με τους σφυγμούς λέιζερ. Η μέθοδος και οι συσκευές αυξάνουν την ταχύτητα επεξεργασίας και ολοκληρώνουν την επεξεργασία πολλαπλάσιος-βημάτων σε ένα ενιαίο πέρασμα. Η εφαρμογή της εφεύρεσης στην επεξεργασία των ηλιακών κυττάρων λεπτών ταινιών περιγράφεται.