The present invention generally provides a robot that can transfer workpieces, such as silicon wafers, at increased speeds and accelerations and decelerations. More particularly, the present invention provides a robot wrist associated with the robot arm for mechanically clamping a workpiece to a workpiece handling member attached to the arm. The workpiece clamp selectively applies sufficient force to hold the workpiece and prevent slippage and damage to the workpiece during rapid rotation and linear movement of the handling member. In one embodiment, a clamp for securing silicon wafers uses two clamp fingers connected to a single flexure member to position and hold the wafer with minimal particle generation and wafer damage. The clamp is designed so that wafers are normally clamped except near full extension of the workpiece handling member to deliver or pick up a wafer.

La actual invención proporciona generalmente una robusteza que pueda transferir los objetos, tales como obleas de silicio, a las velocidades y las aceleraciones y los decelerations crecientes. Más particularmente, la actual invención proporciona una muñeca de la robusteza asociada al brazo de la robusteza para mecánicamente afianzar un objeto con abrazadera a un objeto que maneja el miembro unido al brazo. La abrazadera del objeto aplica selectivamente la suficiente fuerza para sostener el objeto y para prevenir resbalamiento y daño al objeto durante la rotación rápida y el movimiento linear del miembro de dirección. En una encarnación, una abrazadera para asegurar las obleas de silicio utiliza dos dedos de la abrazadera conectados con un solo miembro de la flexión a la posición y sostiene la oblea con daño mínimo de la generación y de la oblea de la partícula. Se diseña la abrazadera para afianzar obleas con abrazadera normalmente excepto la extensión completa cercana del objeto que maneja el miembro para entregar o para tomar una oblea.