A noble metal electrode structure having a cup-like, approximately cylindrical shape, roughened inner and outer surfaces, and a surface area of at least 1 sq. micron or greater is provided as well as a capacitor which includes the noble metal electrode as a bottom electrode. The high-surface area noble metal electrode is formed by electroplating into annular channels that have roughened sidewalls formed by the oxidation of vapor-deposited Si nuclei.

Eine Edelmetalelektrode Struktur, die a Schale-wie, ungefähr zylinderförmige Form, aufgerauhte innere und Außenseiten und eine Fläche von mindestens 1 sq. Mikron oder grösser hat, wird zur Verfügung gestellt, sowie ein Kondensator, der die Edelmetalelektrode als Grundelektrode miteinschließt. Die Hochoberfläche Bereich Edelmetalelektrode wird gebildet, indem man in ringförmige Führungen galvanisiert, die die Seitenwände aufgerauht haben, die durch die Oxidation der Dampf-niedergelegten Silikon Kerne gebildet werden.