A system and an associated method for positioning a substrate includes
transferring a substrate along a path intersecting a plane of a sensor
beam; determining a center point and an orientation indicator of the
substrate utilizing signals from the sensor beam; and positioning a
substrate according to the center point and the orientation indicator of
the substrate.
Система и associated метод для располагать субстрат вклюают переносить субстрат вдоль курса пересекая плоскость луча датчика; обусловливать центральный пункт и индикатор ориентации субстрата используя сигналы от луча датчика; и располагающ субстрат согласно центральному пункту и индикатор ориентации субстрата.