A dual paddle end effector robot is disclosed which is capable of parallel processing of workpieces. The end effector includes a lower paddle rotatably coupled to an end of the distal link, and an upper paddle rotatably coupled to the lower paddle. The lower paddle supports a drive assembly capable of rotating the upper paddle with respect to the lower paddle. In one embodiment of the present invention, the dual paddle end effector robot may be used within a wafer sorter to perform parallel processing of workpieces on a pair of aligners within the sorter. In such an embodiment, the robot may first acquire a pair of workpieces from adjacent shelves within the workpiece cassette. After withdrawing from the cassette, the respective paddles on the end effector may fan out and transfer the wafers to the chucks of the respective aligners. After processing of the workpieces on the aligners is complete, the fanned end effector paddles may re acquire the workpieces, the upper paddle may return to its home position located directly over the lower paddle, and then return the processed workpieces to their original cassette or to a new cassette. Parallel processing of workpieces in this fashion provides significantly greater throughput than in conventional wafer sorter systems. Throughput may be improved still further by providing buffering locations for the workpieces at the respective aligners.

Een dubbele de effectorrobot wordt van het peddeleind onthuld die voor parallelle verwerking van werkstukken geschikt is. De eindeffector omvat een lagere peddel die draaibaar aan een eind van de distale verbinding wordt gekoppeld, en een hogere peddel die draaibaar aan de lagere peddel wordt gekoppeld. De lagere peddel steunt een aandrijvingsassemblage geschikt om de hogere peddel met betrekking tot de lagere peddel te roteren. In één belichaming van de onderhavige uitvinding, kan de dubbele de effectorrobot van het peddeleind binnen een wafeltjesorteerder worden gebruikt om parallelle verwerking van werkstukken op een paar aligners binnen de sorteerder uit te voeren. In een dergelijke belichaming, kan de robot een paar werkstukken van aangrenzende planken binnen de werkstukcassette eerst verwerven. Na zich het terugtrekken van de cassette, kunnen de respectieve peddels op de eindeffector de wafeltjes uit waaien en overbrengen naar de klemmen van respectieve aligners. Nadat de verwerking van de werkstukken op aligners volledig is, kunnen de gewaaide peddels van de eindeffector aangaande de werkstukken verwerven, kan de hogere peddel op zijn huispositie terugkomen die direct over de lagere peddel wordt gevestigd, en dan de verwerkte werkstukken terugkeren aan hun originele cassette of aan een nieuwe cassette. De parallelle verwerking van werkstukken op deze manier verstrekt beduidend grotere productie dan in de conventionele systemen van de wafeltjesorteerder. De productie kan steeds verder worden verbeterd door als buffer optredende voor plaatsen voor de werkstukken bij respectieve aligners te verstrekken.