A scanning drawing apparatus includes a light source, a beam separator for dividing the laser beam into a drawing beam and a monitor beam. A drawing optical path through which the drawing beam travels, and a monitor optical path through which the monitor beam travels are defined. The drawing beam passed through the drawing optical path and the monitor beam passed through the monitor optical path are combined by a beam combiner, and then deflected by a scanning deflector. The deflected beams pass through a scanning lens to form beam spots on an image surface and a monitor scale that is equivalent to the image surface, respectively. The monitor optical path has a different optical path length from the drawing optical path and/or effective diameters of optical elements in the monitor optical path is different from effective diameters of optical elements in the drawing optical path. A deviation of the beam spot of the drawing beam on the image surface due to an inclination or a shift of the light source is equal to a deviation of the beam spot of the monitor beam on the monitor scale in terms of directions and amounts.

Μια συσκευή σχεδίων ανίχνευσης περιλαμβάνει μια πηγή φωτός, ένας διαχωριστής ακτίνων για τη διαίρεση της ακτίνας λέιζερ σε ακτίνα σχεδίων και ακτίνα οργάνων ελέγχου. Μια οπτική πορεία σχεδίων μέσω της οποίας η ακτίνα σχεδίων ταξιδεύει, και μια οπτική πορεία οργάνων ελέγχου μέσω των οποίων τα ταξίδια ακτίνων οργάνων ελέγχου καθορίζονται. Η ακτίνα σχεδίων πέρασε μέσω της οπτικής πορείας σχεδίων και η ακτίνα οργάνων ελέγχου πέρασε μέσω του οργάνου ελέγχου που η οπτική πορεία συνδυάζεται από έναν συνδυαστή ακτίνων, και εκτρέπεται έπειτα από deflector ανίχνευσης. Οι ακτίνες περνούν μέσω ενός φακού ανίχνευσης στα σημεία ακτίνων μορφής σε μια επιφάνεια εικόνας και μια κλίμακα οργάνων ελέγχου που είναι ισοδύναμη με την επιφάνεια εικόνας, αντίστοιχα. Η οπτική πορεία οργάνων ελέγχου έχει ένα διαφορετικό οπτικό μήκος πορειών από την οπτική πορεία σχεδίων ή/και οι αποτελεσματικές διάμετροι των οπτικών στοιχείων στην οπτική πορεία οργάνων ελέγχου είναι διαφορετικές από τις αποτελεσματικές διαμέτρους των οπτικών στοιχείων στην οπτική πορεία σχεδίων. Μια απόκλιση του σημείου ακτίνων της ακτίνας σχεδίων στην επιφάνεια εικόνας λόγω σε μια κλίση ή μια μετατόπιση της πηγής φωτός είναι ίση με μια απόκλιση του σημείου ακτίνων της ακτίνας οργάνων ελέγχου στην κλίμακα οργάνων ελέγχου από την άποψη των κατευθύνσεων και των ποσών.