The present invention provides a reliable modular production quality excimer laser capable of producing 10 mJ laser pulses in the range of 1000 Hz to 2000 Hz with a full width half, maximum bandwidth of about 0.6 pm or less. Replaceable modules include a laser chamber, a pulse power system comprised of three modules; an optical resonator comprised of a line narrowing module and an output coupler module; a wavemeter module, an electrical control module, a cooling water module and a gas control module. Important improvements have been provided in the pulse power unit to produce faster rise time and improved pulse energy control. These improvements include an increased capacity high voltage power supply with a voltage bleed-down circuit for precise voltage trimming, an improved commutation module that generates a high voltage pulse from the capacitors charged by the high voltage power supply and amplifies the pulse voltage 23 times with a very fast voltage transformer having a secondary winding consisting of a single four-segment stainless steel rod. A novel design for the compression head saturable inductor greatly reduces the quantity of transformer oil required and virtually eliminates the possibility of oil leakage which in the past has posed a hazard.

Die anwesende Erfindung versieht einen zuverlässigen modularen Produktion Qualitätsexcimer Laser, der zum Produzieren von von 10 mJ Laser Impulsen in der Strecke 1000 Hz bis 2000 Hz mit einer vollen Breite halben, maximalen Bandbreite von ungefähr 0.6 P.M. oder kleiner fähig ist. Austauschbare Module schließen einen Laser Raum, ein Impulsenergie System ein, das von drei Modulen enthalten wird; ein optischer Resonator enthalten von einer Linie, die Modul und ein Ausgang Kopplermodul verengt; ein Wellenmessermodul, ein elektrischer Steuermodul, ein Kühlwassermodul und ein Gassteuermodul. Wichtige Verbesserungen sind in der Impulsstromversorgungseinheit zur Verfügung gestellt worden, um schnellere Aufstieg Zeit und verbesserte Impulsenergiesteuerung zu produzieren. Diese Verbesserungen schließen eine erhöhte Kapazität, die Hochspg.Versorgungsteil mit einer Spannung Stromkreis für exakte Spannung Zutat bluten-unten, ein verbessertes Umwandlungmodul ein, das einen Hochspannungsimpuls von den Kondensatoren erzeugt, die durch das Hochspg.Versorgungsteil aufgeladen werden und die Impulsspannung 23mal mit einem sehr schnellen Spannung Transformator verstärkt, der eine Sekundärwicklung hat, aus einer einzelnen vierteiligen Stange des rostfreien Stahls zu bestehen. Ein Romandesign für die Kompression Kopfsättigungsdrosselspule verringert groß die Quantität des Transformatoröls erfordert und beseitigt praktisch die Möglichkeit des Öldurchsickerns, das in der Vergangenheit eine Gefahr aufgeworfen hat.