The present invention provides data analysis stations respectively for a probing tester and an automatic particle inspection machine. And, in the data analysis station, the coordinates on which the disposition of the chips are described on a product basis are equal to those on which the locations of the defects are described. Further, the station provides a function of determining which of the chips each defect belongs to. These data analysis stations are connected through a communication line. The present invention is capable of analyzing the data on a chip basis, resulting in being able to grasp the relation between how the defects are caused on each chip and the product character of the chip.

Η παρούσα εφεύρεση παρέχει τους σταθμούς ανάλυσης στοιχείων αντίστοιχα για έναν ελεγκτή εξέτασης και μια αυτόματη μηχανή επιθεώρησης μορίων. Και, στο σταθμό ανάλυσης στοιχείων, οι συντεταγμένες στις οποίες η διάθεση των τσιπ περιγράφεται σε μια βάση προϊόντων είναι ίσες με εκείνους στους οποίους οι θέσεις των ατελειών περιγράφονται. Περαιτέρω, ο σταθμός παρέχει μια λειτουργία του καθορισμού όποιων των τσιπ κάθε ατέλεια ανήκει. Αυτοί οι σταθμοί ανάλυσης στοιχείων συνδέονται μέσω μιας γραμμής επικοινωνίας. Η παρούσα εφεύρεση είναι σε θέση τα στοιχεία όσον αφορά μια βάση τσιπ, με συνέπεια να είσαι σε θέση να πιαστεί η σχέση μεταξύ το πώς οι ατέλειες προκαλούνται σε κάθε τσιπ και το χαρακτήρα προϊόντων του τσιπ.