A reliable, modular, production quality F.sub.2 excimer laser capable of producing, at repetition rates in the range of 1,000 to 2,000 Hz or greater, laser pulses with pulse energies greater than 10 mJ with a full width half, maximum bandwidth of about 1 pm or less at wavelength in the range of 157 nm. Laser gas concentrations are disclosed for reducing unwasted infrared emissions from the laser. Also disclosed are UV energy detectors which are substantially insensitive to infrared light. Preferred embodiments of the present invention can be operated in the range of 1000 to 4000 Hz with pulse energies in the range of 10 to 5 mJ with power outputs in the range of 10 to 40 watts. Using this laser as an illumination source, stepper or scanner equipment can produce integrated circuit resolution of 0.1 .mu.m or less. Replaceable modules include a laser chamber and a modular pulse power system.

Een betrouwbare, modulaire, excimer van de productiekwaliteit F.sub.2 laser geschikt om aan herhalingstarieven in de waaier van 1.000 tot 2.000 Herz of grotere, laserimpulsen met impulsenergieën te produceren groter dan 10 mJ met een volledige breedte halve, maximumbandbreedte van ongeveer 1 p.m. of minder bij golflengte in de waaier van 157 NM. De het gasconcentraties worden van de laser onthuld voor het verminderen van unwasted infrarode emissies van de laser. Ook onthuld worden de UVENERGIEDETECTORS die aan infrarood licht wezenlijk ongevoelig zijn. De aangewezen belichamingen van de onderhavige uitvinding kunnen in de waaier van 1000 tot 4000 Herz met impulsenergieën in de waaier van 10 tot 5 mJ met machtsoutput in de waaier van 10 tot 40 watts worden in werking gesteld. Gebruikend deze laser als verlichtingsbron, kan stepper of het scannermateriaal de resolutie van geïntegreerde schakelingen van 0,1 mu.m of minder veroorzaken. De vervangbare modules omvatten een laserkamer en een modulair systeem van de impulsmacht.