A wafer processing apparatus includes a common path, extending in a Y-axis direction, in which one wafer or a plurality of wafers are conveyed, a plurality of process units stacked on both sides of the common path to constitute multi-stage structures, a main handler moved in the common path in the Y-axis direction and rotated about a Z axis at an angle .theta. to load/unload the wafer into/from the process units, an arm section arranged to move in the main handler in the Z-axis direction, a plurality of holding arms arranged in the arm section to constitute a multi-stage structure so as to respectively hold the wafers, each holding arm being advanced and retreated on an X-Y plane from the arm section, an optical sensor, arranged in the arm section, for detecting a holding state of the wafer in each of the plurality of holding arms, and a controller for controlling an operation of the main handler, an operation of the arm section, and operations of the plurality of holding arms on the basis of a detection result from the optical sensor, wherein the controller advances or retreats each holding arm while operating at least one of the main handler and the arm section, and causes the optical sensor to detect the holding state of the wafer by each holding arm before the holding arm reaches a corresponding one of the process units.

Μια συσκευή επεξεργασίας γκοφρετών περιλαμβάνει μια κοινή πορεία, εκτεινόμενος σε μια κατεύθυνση Υ-άξονα, στην οποία μια γκοφρέτα ή μια πολλαπλότητα των γκοφρετών μεταβιβάζεται, μια πολλαπλότητα των μονάδων διαδικασίας που συσσωρεύονται και στις δύο πλευρές της κοινής πορείας για να αποτελέσουν τις πολυβάθμιες δομές, ένας κύριος χειριστής που κινείται στην κοινή πορεία στην κατεύθυνση Υ-άξονα και που περιστρέφεται για έναν άξονα ζ τχετα. διαγωνίως στο φορτίο/ξεφορτώνει την γκοφρέτα σε/από τις μονάδες διαδικασίας, ένα τμήμα βραχιόνων που κανονίζεται για να κινηθεί στον κύριο χειριστή στην κατεύθυνση ζ-άξονα, μια πολλαπλότητα των όπλων εκμετάλλευσης που κανονίζονται στο τμήμα βραχιόνων για να αποτελέσουν μια πολυβάθμια δομή ώστε να κρατηθούν αντίστοιχα οι γκοφρέτες, κάθε βραχίονας εκμετάλλευσης το τμήμα βραχιόνων, ένας οπτικός αισθητήρας, που τακτοποιείται στο τμήμα βραχιόνων, για την ανίχνευση μιας κατάστασης εκμετάλλευσης της γκοφρέτας σε κάθε μια από την πολλαπλότητα των όπλων εκμετάλλευσης, και ενός ελεγκτή για τον έλεγχο μιας λειτουργίας του κύριου χειριστή, μιας λειτουργίας του τμήματος βραχιόνων, και των διαδικασιών της πολλαπλότητας των όπλων εκμετάλλευσης βάσει μιας ανίχνευσης προκύπτει από τον οπτικό αισθητήρα, όπου ο ελεγκτής προωθεί ή υποχωρεί κάθε βραχίονα εκμετάλλευσης ενεργοποιώντας τουλάχιστον ενός από τον κύριο χειριστή και το τμήμα βραχιόνων, και αναγκάζει τον οπτικό αισθητήρα για να ανιχνεύσει την κατάσταση εκμετάλλευσης της γκοφρέτας από κάθε βραχίονα εκμετάλλευσης προτού να φθάσει ο βραχίονας εκμετάλλευσης αντίστοιχη μια από τις μονάδες διαδικασίας