A method and apparatus for handling deadlocks in a multichamber semiconductor wafer processing system known as a cluster tool. A plurality of software routines execute upon a sequencer of a cluster tool to perform deadlock avoidance, deadlock detection and deadlock resolution towards achieving optimal wafer throughput for a cluster tool.

Eine Methode und ein Apparat für die Behandlung von von Einriegelschlössern in einem Verarbeitungssystem des multichamber Halbleiterplättchens bekannt als ein Blockwerkzeug. Eine Mehrzahl der Software-Programme führen nach einer Anreihung eines Blockwerkzeugs durch, um Einriegelschloßvermeidung, Einriegelschloßabfragung und Einriegelschloßauflösung in Richtung zum Erzielen des optimalen Oblatedurchsatzes für ein Blockwerkzeug durchzuführen.