A method and apparatus for accumulating dicing data for process analysis, monitoring process stability and cut quality in a substrate. The apparatus has a spindle motor with a blade attached to the spindle motor. A spindle driver is coupled the spindle to drive the spindle at a predetermined rotation rate. A sensor is connected to the spindle motor to determine the rotation rate of the spindle. A controller is coupled to the monitor in order to control the spindle driver responsive to the load induced on the blade by the substrate.

Eine Methode und ein Apparat für ansammelnde würfelnde Daten für Prozeßanalyse, Prozeßstabilität und geschnittene Qualität in einem Substrat überwachend. Der Apparat hat einen Spindelmotor mit einem Blatt, das zum Spindelmotor angebracht wird. Einem Spindeltreiber wird die Spindel verbunden, zum der Spindel mit einer vorbestimmten Umdrehung Rate zu fahren. Ein Sensor wird an den Spindelmotor angeschlossen, um die Umdrehung Rate der Spindel festzustellen. Ein Steuerpult wird zum Monitor verbunden, um den Spindeltreiber zu steuern, der der Last entgegenkommend ist, die auf dem Blatt durch das Substrat verursacht wird.