A method and apparatus for fabricating and drying wafers, including
micro-electro-mechanical system (MEMS) structures, in a second,
supercritical processing fluid environment. The apparatus utilizes an
inverted pressure vessel connected to a supercritical processing fluid
supply and recover system, with an internal heat exchanger connected to
external heating and cooling sources, which is closed with a vertically
movable base plate. A wafer cassette configured for supporting multiple
wafers is submerged in a first processing fluid within a container, which
is installed on the base plate for insertion into the pressure vessel.
Vessel inlet and outlet tubes extend vertically downward from the ceiling
of the pressure vessel to nearly the base plate. Container inlet and
outlet tubes extend vertically downward from the ceiling of the pressure
vessel to inside the container and nearly to the bottom of the container.
The tubes provide for displacement of the first processing fluid with the
second processing fluid still in a liquid state, from which it is raised
to supercritical state.
Un método y un aparato para fabricar y secar las obleas, incluyendo las estructuras micro-electro-meca'nicas del sistema (MEMS), en segundas, el ambiente flúido de proceso supercrítico. El aparato utiliza un recipiente de presión invertido conectado con una fuente flúida de proceso supercrítica y recupera el sistema, con un cambiador de calor interno conectado con la calefacción externa y las fuentes que se refrescan, que está cerrada con un embase verticalmente movible. Un cassette de la oblea configurado para apoyar las obleas múltiples se sumerge en un primer líquido de proceso dentro de un envase, que está instalado en el embase para la inserción en el recipiente de presión. Los tubos de la entrada y de enchufe del recipiente extienden verticalmente hacia abajo del techo del recipiente de presión casi al embase. Los tubos de la entrada y de enchufe del envase extienden verticalmente hacia abajo del techo del recipiente de presión dentro del envase y casi al fondo del envase. Los tubos todavía preven la dislocación del primer líquido de proceso del segundo líquido de proceso en un estado líquido, de el cual se levanta al estado supercrítico.
