Methods for preparing organic thin films on substrates, the method comprising the steps of providing a plurality of organic precursors in the vapor phase, and reacting the plurality or organic precursors at a sub-atmospheric pressure. Also included are thin films made by such a method and apparatuses used to conduct such a method. The method is well-suited to the formation of organic light emitting devices and other display-related technologies.

Méthodes pour préparer les couches minces organiques sur des substrats, la méthode comportant les étapes de fournir une pluralité de précurseurs organiques dans la phase de vapeur, et de réagir la pluralité ou les précurseurs organiques à une pression sous-atmosphérique. En outre incluses sont les couches minces faites par une tels méthode et appareils utilisés pour conduire une telle méthode. La méthode est bien adaptée à la formation de la lumière organique émettant des dispositifs et d'autres technologies montrer-connexes.

 
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< Method and apparatus for forming thin functional film

> Method and apparatus for obtaining radiation image data and solid-state radiation detector

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