A processing system comprises a plurality of processing vessels (8A to 8D) provided with openings in which a wafer (W) is subjected to predetermined processes, and a common transfer vessel (4) connected to the openings of the processing vessels. A transfer mechanism (14) capable of turning, bending and stretching is installed in the common transfer vessel to transfer the wafer (W) between the common transfer vessel (4) and the processing vessels (8A to 8D). Stand-by spaces (24A to 24D), where the wafer (W) is held temporarily, are determined so as to correspond to the openings of the processing vessels (8A to 8D), respectively. Position sensors (26-1 to 26-5) are assigned in pairs to the stand-by spaces to measure the position of the perimeter of the wafer. The position sensors are arranged so that each stand-by space (24A to 24D) shares one of the pair of position sensors with the adjacent stand-by space for common use. A control means determines an offset of the object held by the transfer mechanism on the basis of the position of the perimeter of the object detected by the position sensors and controls the operation of the transfer mechanism so as to correct the offset of the object.

Системы обработки состоит из множественности обрабатывать сосуды (8ЈA к 8D) обеспеченные с отверстиями в вафля (W) подвергается к после того как она предопределена обрабатывает, и общий сосуд перехода (4) подключенный к отверстиям обрабатывая сосудов. Передаточныйа механизм (14) способный поворачивать, гнуть и протягивать установлен в общий сосуд перехода для того чтобы перенести вафлю (W) между общим сосудом перехода (4) и обрабатывая сосудами (8ЈA к 8D). Обусловлены, что соответствуют резервные космосы (24ЈA к 24D), где вафля (W) держится временно, к отверстиям обрабатывая сосудов (8ЈA к 8D), соответственно. Датчики положения (26-1 до 26-5) заданы в парах к резервным космосам для того чтобы измерить положение периметра вафли. Датчики положения аранжированы так, что каждый космос stand-by (24ЈA к 24D) будет делить одну из пары датчиков положения с смежным резервным космосом для общей пользы. Управление намеревается обусловливает смещение предмета, котор держит передаточныйа механизм on the basis of положение периметра предмета обнаруженного датчиками положения и контролирует деятельность передаточныйа механизм для того чтобы исправить смещение предмета.