The present invention provides data analysis stations respectively for a probing tester and an automatic particle inspection machine. And, in the data analysis station, the coordinates on which the disposition of the chips are described on a product basis are equal to those on which the locations of the defects are described. Further, the station provides a function of determining which of the chips each defect belongs to. These data analysis stations are connected through a communication line. The present invention is capable of analyzing the data on a chip basis, resulting in being able to grasp the relation between how the defects are caused on each chip and the product character of the chip.

Die anwesende Erfindung stellt Datenanalysestationen beziehungsweise für eine prüfende Prüfvorrichtung und eine automatische Partikelkontrolle Maschine zur Verfügung. Und, in der Datenanalysestation, auf der die Koordinaten die Einteilung der Späne auf einer Produktgrundlage beschrieben werden, seien Sie denen gleich, auf denen die Positionen der Defekte beschrieben werden. Weiter liefert die Station eine Funktion der Bestimmung, welchem der Späne jeder Defekt gehört. Diese Datenanalysestationen werden durch eine Fernmeldeleitung angeschlossen. Die anwesende Erfindung ist zum Analysieren der Daten bezüglich einer Spangrundlage fähig, und das resultiert beim In der LageSEIN, zu fassen die Relation zwischen, wie die Defekte auf jedem Span und dem Produktbuchstaben des Spanes verursacht werden.