A metal organic chemical vapor deposition apparatus comprising a source
ampule, a liquid micro-pump, a vaporizer equipped with a solvent supply
means, and a reactor. A reactant dissolved in a solvent in the source
ampule is transferred to the vaporizer by the liquid micro-pump. A
sufficient amount of the solvent is additionally fed to the vaporizer by
the solvent supply means, concurrently with the transfer, and vaporized
along with the reactants. After being vaporized in the vaporizer, the
reactant is injected to the reactor by carrier gas and deposited on a
semiconductor substrate to form a high dielectric thin film. By virtue of
the additional supplied solvent, the recondensation of the reactant in the
vaporizer, which is attributed to the separation of the solvent from the
reactant, can be prevented in the vaporizer and in the transfer line
between the vaporizer and the reactor. In addition, the residues of the
reactant, which may result from the separation, can be washed off by
providing the solvent through the supply means to the vaporizer.
Прибор низложения химически пара металла органический состоя из ampule источника, жидкостного микро--nasosa, вапоризатора оборудованного с серединами растворяющими поставкы, и реактора. Реактант растворил в растворителе в ampule источника перенесен к вапоризатору жидкостным микро--nasosom. Достаточно количество растворителя дополнительн подано к вапоризатору растворяющими серединами поставкы, concurrently with переход, и испарено вместе с реактантами. После быть испаренным в вапоризаторе, реактант впрыснут к реактору газом несущей и депозирован на субстрате полупроводника для того чтобы сформировать высокую диэлектрическую тонкую пленку. By virtue of дополнительный поставленный растворитель, recondensation реактанта в вапоризаторе, который приписан к разъединению растворителя от реактанта, можно предотвратить в вапоризаторе и в линии передачи между вапоризатором и реактором. In addition, выпарки реактанта, который может привести к от разъединения, могут быть помыты путем снабубежать растворитель через середины поставкы вапоризатор.
