A method for fabricating a large single-grained ferroelectric thin film
grown by selectively nucleated lateral crystallization (SNLC) using an
artificial nucleation seed, a method for fabricating a ferroelectric
capacitor using the same, and a method for fabricating a ferroelectric
memory device using the same. The ferroelectric thin film fabrication
method includes the steps of forming a first conductive layer on one side
of a semiconductor substrate, by using a conductive material, forming an
artificial nucleation seed in an island form adjacent a position where a
ferroelectric thin film is to be formed in the upper portion of the first
conductive layer, forming a ferroelectric thin film on the whole surface
of the substrate including the nucleation seed, and thermally annealing
the ferroelectric thin film to thereby grow the ferroelectric thin film
positioned in the lateral side of the nucleation seed into a
single-grained ferroelectric thin film.
Un metodo per fabbricare una grande pellicola sottile ferroelectric singolo-granulosa sviluppata da cristallizzazione laterale selettivamente nucleated (SNLC) che usando un seme artificiale di nucleazione, un metodo per fabbricare un condensatore ferroelectric usando lo stesso e un metodo per fabbricare un dispositivo di memoria ferroelectric usando lo stesso. Il metodo ferroelectric di montaggio della pellicola sottile include i punti di formare un primo strato conduttivo da un lato di un substrato a semiconduttore, usando un materiale conduttivo, formante un seme artificiale di nucleazione in una forma dell'isola adiacente una posizione dove una pellicola sottile ferroelectric deve essere formata nella parte superiore del primo strato conduttivo, formante una pellicola sottile ferroelectric nel complesso la superficie del substrato compreso il seme di nucleazione e temprante termicamente la pellicola sottile ferroelectric quindi per sviluppare la pellicola sottile ferroelectric posizionata nel lato laterale del seme di nucleazione in una pellicola sottile ferroelectric singolo-granulosa.
